3-6”單晶硅片
我們擁有先進的多線切割機、雙面研磨機、硅片倒角機、全自動超聲清洗機和無接觸硅片自動分選機等硅片加工和質量檢測設備及工藝，按照ISO9001:2015質量管理體系和ISO140001：2015環境管理體系的要求嚴抓產品質量關，為半導體芯片制造商提供各類規格的高品質單晶硅片。
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規格 |
電阻率Ω·CM |
厚度μm |
晶向 |
壽命μs |
外徑mm |
摻雜劑 |
形態 |
電阻率徑向不均勻性 |
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線切片 |
研磨片 |
倒角片 |
定位片 |
||||||||
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3” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
76.2±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
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4” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
101.6±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
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5” |
0.001-55 |
200-350 |
<111> |
＞100 |
125±0.3 |
磷/硼 |
√ |
√ |
√ |
√ |
≤20% |
