3-6”單晶硅棒


                    我們采用磁場拉晶及連續加料工藝,提升晶棒電阻率徑向均勻度及阻值對檔率,單晶硅棒質量品質高于行業標準,可生產電阻率范圍0.001-55Ω·cm的輕摻及重摻單晶硅棒,具有行業領先的磁場直拉單晶生長技術。


                    規格

                    電阻率Ω·CM

                    長度mm

                    晶向

                    少子壽命μs

                    外徑mm

                    摻雜劑

                    形態

                    徑向電阻率變化

                    氧含量atoms/cm3

                    含量(atoms/cm3)

                    拋光棒

                    定位棒

                    3

                    0.001-55

                    根據客戶要求

                    <111>

                    >100

                    76.2±0.3

                    磷/硼

                    ≤20%

                    ≤1×1018

                    ≤5×1016

                    4

                    0.001-55

                    根據客戶要求

                    <111>

                    >100

                    101.6±0.3

                    磷/硼

                    ≤20%

                    ≤1×1018

                    ≤5×1016

                    5

                    0.001-55

                    根據客戶要求

                    <111>

                    >100

                    125±0.3

                    磷/硼

                    ≤20%

                    ≤1×1018

                    ≤5×1016


                    全國免費服務熱線:0531-83606607
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